真空塗敷法 的英文怎麼說
中文拼音 [zhēnkōngtúfūfǎ]
真空塗敷法
英文
vacuum coating process- 真 : Ⅰ形容詞（真實） true; genuine; real Ⅱ副詞1 （的確; 實在） really; truly; indeed 2 （清楚確實） cl...
- 空 : 空Ⅰ形容詞（不包含什麼; 裏面沒有東西或沒有內容; 不切實際的） empty; hollow; void Ⅱ名詞1 （天空） s...
- 塗 : Ⅰ動詞1 （抹） spread on; apply; smear 2 （亂寫或亂畫） scrawl; scribble 3 （抹去） cross [blot; s...
- 敷 : Ⅰ動詞1. （搽上; 塗上） apply 2. （鋪開; 擺開） spread; lay out 3. （夠; 足） be sufficient for Ⅱ名詞（姓氏） a surname
- 法 : Ⅰ名詞1 （由國家制定或認可的行為規則的總稱） law 2 （方法; 方式） way; method; mode; means 3 （標...
- 真空 : [物理學] vacuum; empty space; vacuo
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Among various fabrication techniques of thin film, the sol - gel process has gained much interest for the preparation of pzt thin film, due to ihe advantages of good homogeneity, easy control of composition, low in - ill i reaving temperature, easy formation of large area thin films pb ( zrxti : - k ) 0 :, ( pzt ) films were prepared on the ito coated glass plates and low resistor silicon wafer in sol - gel dip - coating process associated wi di heat treatment : at different temperatures and characterized by x - ray diffraction ( xrd ) and transmission electron microscopy ( tem ). lt is shown that the pzt ferroelectric thin films with ( 110 ) preferred orientation and well - crystallized perovskite structure can be obtained after annealing at 680 ? for 30 minutes on ito substrate and at 800 " c for lornin on silicon substrate
Pzt的制備方法有很多，其中溶膠?凝膠（ sol - gel ）方法可以和集成電路（ ic ）光刻工藝相互兼容，處理溫度低，有大面積塗敷性能，能精確地控制組分，無需復雜的真空設備，成本低廉，所以對于集成鐵電薄膜電容的應用這種方法有很廣闊的前景。本文利用sol - gel技術在摻錫的in _ 2o _ 3透明導電薄膜（ ito ）襯底和低阻硅襯底上成功地制備了pzt鐵電薄膜。運用了x射線衍射， sawyer - tower電路和lcr電橋分別對薄膜的晶化溫度，結構和電學性能進行了測試。
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