硅晶元面積 的英文怎麼說
中文拼音 [guījīngyuánmiànjī]
硅晶元面積
英文
silicon chip area- 硅 : 名詞[化學] silicon （14號元素符號 si）
- 晶 : Ⅰ形容詞（光亮） brilliant; glittering Ⅱ名詞1. （水晶） quartz; （rock） crystal 2. （晶體） any crystalline substance
- 面 : Ⅰ名詞1 （頭的前部; 臉） face 2 （物體的表面） surface; top 3 （外露的一層或正面） outside; the ri...
- 積 : Ⅰ動詞（積累） amass; store up; accumulate Ⅱ形容詞（長時間積累下來的） long standing; long pending...
- 面積 : [數學] area
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In succession, tini thin film is deposited on single - crystal silicon substrate using optimized parameters utilizing sputtering, and its transformation temperature ( a * ) is 72 ? indicated by dsc curve after being annealed in an ultra - high vacuum ( uhv ) chamber. in addition, the composition of the silicon - based tini film was analyzed by an energy dispersive x - ray spectroscopy ( eds ), and the ti content in the film is approximately 51at %
按照改進的工藝參數，在單晶硅襯底上濺射-淀積了tini薄膜，並進行了超高真空退火， dsc法測得其馬氏體逆相變峰值溫度為72 ，利用能譜分析（ eds ）技術測得其ti含量約為51at ，通過對非晶tini薄膜與單晶硅襯底之間的界面進行eds及x射線衍射（ xrd ）分析，發現在用大功率（ 2000w ）直流磁控濺射法制備tini薄膜過程中，存在ti 、 ni與si的雙向擴散，發生了界面反應，並有三元化合物ni _ 3ti _ 2si生成。
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