chemical-mechanical polish 中文意思是什麼
chemical-mechanical polish
解釋
化學壞拋光法一種去掉圓片表面某種物質的方法- chemical : adj 化學的，化學作用的；應用化學的，用化學方法獲得的。n 〈常 pl 〉化學製品；藥品。 fine chemicals...
- mechanical : adj 1 機械的；機械制的。2 機械學的，力學的；物理上的（opp chemical）。3 機工的，技工的；自動的；...
- polish : adj n 波蘭（人）的；波蘭語（的）。vt 1 磨光，擦亮，拋光。2 使簡練，使醇化，使優美；推敲；潤飾（文...
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Chemical - mechanical polish ( cmp ) - a process of flattening and polishing wafers that utilizes both chemical removal and mechanical buffing. it is used during the fabrication process
化學-機械拋光（ cmp ） -平圓晶光拋和整片的工藝，採用化學移除和機械拋。式方種兩光此工藝在前道工藝中使用。 -
Thin - film area : the area to deposit " dielectric layer " and " metal layer " as the conducted or insulated films, also has cmp ( chemical - mechanical _ polish ) to planarize the chips on the wafer ' s surface and add high ( low ) temprature rtp ( rapid - thermal - process ) to the wafer
薄膜區：專門沉積「介電層」 ， 「金屬層」等導電或不導電薄膜的區域，併兼做晶圓表面器件之平坦化及高（低）溫快速熱退火製程。
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