optical phase correction (opc) 中文意思是什麼
optical phase correction (opc)
解釋
光相位校正- optical : adj 眼的;視覺的;視力的;幫助視力的;光學(上)的。 optical activity 【物理學】旋光性。 an optic...
- phase : n 1 形勢,局面,狀態;階級。2 方面,側面。3 【天文學】(月等的)變相,盈虧;【物、天】相,周相,...
- correction : n 修正,改正;校正;矯正;〈古語〉懲罰;勘誤表,補正。 a copy disfigured by numerous corrections ...
- opc : 不透光性;不透明度
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Before more advanced lithography tool is produced, in order to use current tools to manufacture vdsm ic, reticle correction methods such as perturbing the shape ( via optical proximity correction ( opc ) ) or the phase ( via phase - shifting masks ( psm ) ) of transmitting aperture in the reticle are proposed by the industry
在波長更小的光刻系統出現前,為了能利用現有設備解決集成電路的可製造性問題,工業界提出了對掩模作預失真(光學鄰近校正)和在掩模上加相位轉移模(移相掩模)等的掩模校正方法。
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