phase shift mask 中文意思是什麼

phase shift mask 解釋
移相掩膜
  • phase : n 1 形勢，局面，狀態；階級。2 方面，側面。3 【天文學】（月等的）變相，盈虧；【物、天】相，周相，...
  • shift : vt 1 變動；改變；搬移；移動；轉移；變換；替換；更換。2 推卸；轉嫁。3 消除；撤除。4 【語言學】變換...
  • mask : n 1 假面具，偽裝，掩蔽物；面罩；防毒面具（＝ gas mask）；【物理學】掩模；（劈劍，棒球等用）護面；...
  1. For the coordination of the contradictory, the wavefront technique has been regarded as an effective method to improve the image quality in photolithography by optimizing the image of the mask. it includes : pupil filtering, phase shift mask, off - axis illumination, optical proximity correction, and so on

    為了協調這種矛盾，利用波前工程來改善光刻圖形的質量以提高光刻解析度，已廣泛地應用於光學光刻中，如：瞳孔濾波、相移掩模、離軸照明、光學鄰近效應校正等。
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