prealigner 中文意思是什麼
prealigner
解釋
預對準器-
This paper surveys robotic wafer handling system for integrate circuit manufacturing, and reviews the operating principle and research results of the main components of the system, i. e., wafer robot and prealigner
摘要介紹了面向集成電路製造業的矽片機器人傳輸系統，綜述了其主要組成部分矽片機器人和預對準裝置的工作原理及國內外研究成果。
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