target heater 中文意思是什麼

target heater 解釋
靶面加熱器
  • target : n 靶子，標的；目標；（嘲笑等的）對象；笑柄 （for）; （儲蓄，貿易等的）定額，指標；小羊的頸胸肉；...
  • heater : n. 1. 加熱的人；加熱器，散熱器；暖房裝置。2. 〈美俚〉手槍。3. 〈美俚〉雪茄煙。
  1. Contrasting the results of simulation and the experiment for depositing the 3 inch thin films by icds technique, the center position of substrate and the target is in a 18mm offset, the thickness distribution homogeneity is under 8 %. based on the analyses of the theoretic heat distribution for the radiant heating system, a 3 inch size radiant heater fitting for the requirement is designed and made, whose temperature difference is under 6 %

    其次，對3英寸范圍內的膜厚分佈進行了理論模擬，在此基礎上和試驗結果對比分析，發現：在倒筒靶直流濺射裝置下，如果採用一種讓基片中心和靶中心處于相對偏心距離為18mm的位置來制備3英寸薄膜，其膜厚分佈的均勻度范圍控制在8以內。
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