梁式引線晶元 的英文怎麼說
中文拼音 [liángshìyǐnxiànjīngyuán]
梁式引線晶元
英文
beam lead chip- 梁 : 名詞1 （屋架中架在柱子上的長木） beam 2 （通常也指檁） purlin 3 （橋） bridge4 （物體中間條狀隆起...
- 式 : 名詞1 （樣式） type; style 2 （格式） pattern; form 3 （儀式; 典禮） ceremony; ritual 4 （自然科...
- 引 : Ⅰ動詞1 （牽引; 拉） draw; stretch 2 （引導） lead; guide 3 （離開） leave 4 （伸著） stretch 5 （...
- 線 : 名詞1 （用絲、棉、金屬等製成的細長的東西） thread; string; wire 2 [數學] （一個點任意移動所構成的...
- 晶 : Ⅰ形容詞（光亮） brilliant; glittering Ⅱ名詞1. （水晶） quartz; （rock） crystal 2. （晶體） any crystalline substance
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In order to make the sensitivity of 2 - demension accelerometer along the two main arbors almost identical, symmetric four - beam structure that embeds a double - sides interdigitated differential capacitive with puckered beam in two directions was used as sensitive component. in addition, the differential capacitive accelerometer fabricated by bulky silicon micromechanical technique has high sensitivity, wide measurement scope, less nonlinear error, and simple converting circuit. then, the structure parameters of the sensitive component were calculated and stimulated, which results in a set of the optimized structure design parameters, main fabrication procedure and several key fabrication technology
為使二維振動傳感器在兩主軸方向的靈敏度大致相同，敏感元件採用高度對稱的四梁結構，其中每個軸向上均採用帶折疊梁的雙側叉指電容結構，採用體硅微機械工藝製作的高深寬比叉指電容式敏感元件，具有高靈敏度、寬量程、非線性誤差小、外圍電路簡單等優點;對設計的敏感元件結構參數進行了計算，並利用有限元法進行了模擬分析，根據模擬結果得出了優化參數;在確定敏感結構的基礎上，研究了敏感元件採用體硅微機械加工工藝製作的工藝流程和關鍵工藝技術;對敏感晶元內部的c - v介面電路進行了原理設計與分析，利用差動測量技術得到由振動引起的微小電容變化量，經c - v介面電路進行相位調制處理，然後通過解調輸出與加速度成正比的電壓信號。
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