石英鉻掩模 的英文怎麼說
中文拼音 [dànyīnggèyǎnmó]
石英鉻掩模
英文
quartz chrome mask- 石 : 石量詞（容量單位, 十斗為一石） dan, a unit of dry measure for grain （= l00 sheng）
- 英 : 名詞1 [書面語] （花） flower 2 （才能或智慧過人的人） hero; outstanding person 3 （英國） britain...
- 鉻 : 名詞[化學] chromium （24號元素, 符號 cr）
- 掩 : 動詞1 （遮蓋; 掩蔽） cover; hide 2 （關; 合） shut; close 3 [方言] （被卡住） get squeezed [pinch...
- 模 : 模名詞1. （模子） mould; pattern; matrix 2. （姓氏） a surname
- 石英 : quartz; silici-; 石英電子手錶 crystal-oscillator watch; [鐘] quartzcrystal watch
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The feasibility that kaufman ion source is applied in reactive ion beam etching is discussed. etching characteristics of materials, including pr, cr, quartz, are investigated. the etch rate and mechanisms of such materials are measured and analyzed as a function of ion energy, ion beam density and ion incidence angle in pure ar and chf3, respectively. the etch rate has shown a square root dependence on variation versus
深入研究了光刻膠、鉻薄膜、石英等光學材料離子束刻蝕特性，分別以ar氣和chf3為工作氣體，研究光刻膠、鉻薄膜、石英等的刻蝕速率隨離子能量，束流密度和離子入射角度的變化關系，得到刻蝕速率與影響因素的擬合方程，為掩模的製作工藝路線提供了實驗依據和理論指導。
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