自對準柵工藝 的英文怎麼說
中文拼音 [zìduìzhǔnzhàgōngyì]
自對準柵工藝
英文
srg process- 自 : Ⅰ代詞（自己） self; oneself; one s own Ⅱ副詞（自然;當然） certainly; of course; naturally; willin...
- 對 : Ⅰ動詞1 （回答） answer; reply 2 （對待; 對付） treat; cope with; counter 3 （朝; 向; 面對） be tr...
- 準 : Ⅰ名詞1 （標準） standard; guideline; criterion; norm 2 （目標） aim; target Ⅱ動詞1 （依據; 依照）...
- 柵 : 柵名詞（柵欄） railings; paling; palisade; bars
- 工 : Ⅰ名詞1 （工人和工人階級） worker; workman; the working class 2 （工作; 生產勞動） work; labour 3 ...
- 藝 : Ⅰ名詞1 （技能; 技術） skill 2 （藝術） art 3 [書面語] （準則） norm; standard; criterion4 [書面語...
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It is believed that p - si tft will be the main type in the future panel display. among the process of manufacture p - si tft, the source and drain will have the superposition with grid for the reason of machine ’ s alignment error. the superposition will bring superposition capacitance and it will badly cut down the electric performance
在制備多晶硅tft時，由於機器的套準誤差會在柵極與源、漏極之間產生重疊部分，這樣就造成了柵源、柵漏之間的交疊電容，交疊電容的存在嚴重影響了多晶硅tft的性能，而利用自對準工藝制備的多晶硅tft則避免了交疊電容的產生。Finally the method of preparation of p - si tft and some useful dates were given. the dissertation includes seven chapters. the first chapter introduces the development of tft ; the second chapter introduces the principle of tft and its structure ; the third chapter provides the reason of superposition capacitance between s, d and gate ; the fourth chapter introduce the deposition and test method of sinx ; the fifth chapter introduces the fabrication of p - si ; the sixth chapter studies the fabrication techniques of p - si tft and some parameters ; the seventh chapter is a conclusion of the research
本文一共分為七章:第一章介紹了本論文的研究背景、研究意義、主要工作以及國內外的研究進展;第二章介紹了tft的結構和工作原理;第三章介紹了柵極與源、漏極之間疊加電容產生的原因和自對準工藝;第四章介紹了氮化硅的制備方法和測試方法;第五章介紹了多晶硅tft有源層的制備方法並對各種晶化機理做了介紹;第六章主要對利用自對準工藝制備tft的工藝進行研究，並對制備出來的樣品進行了測試;第七章對全文進行總結。
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