電子投影光刻 的英文怎麼說
中文拼音 [diànzitóuyǐngguāngkè]
電子投影光刻
英文
electron projection lithography- 電 : Ⅰ名詞1 （有電荷存在和電荷變化的現象） electricity 2 （電報） telegram; cable Ⅱ動詞1 （觸電） give...
- 子 : 子Ⅰ名詞1 （兒子） son 2 （人的通稱） person 3 （古代特指有學問的男人） ancient title of respect f...
- 影 : Ⅰ名詞1 （物體擋住光線后映出的形象） shadow 2 （鏡中、水面等反映出來的物體形象） reflection; image...
- 光 : Ⅰ名詞1 （照耀在物體上、使人能看見物體的一種物質） light; ray 2 （景物） scenery 3 （光彩; 榮譽） ...
- 電子 : [物理學] [電學] electron
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Extreme ultraviolet lithography is being developed as one of the most important candidates to fabricate a sub - o. lum - pattern. in recent years, several key technologies have been developed rapidly such as laser producing plasma source, extreme ultraviolet multilayer, optical fabrication and metrology, projection - camara alignment, low - defect mask and control technology of stage
極紫外投影光刻（ extremeultravioletlithography簡稱euvl ）最有可能成為下一世紀生產線寬小於0 . 1 m集成電路的技術，近年來在激光等離子體光源、極紫外多層膜、光學加工和檢測、光學精密裝調、低缺陷掩模、光刻膠技術以及高穩定工作臺系統控制等關鍵技術方面得到了飛速發展。
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