電火高成形法 的英文怎麼說
中文拼音 [diànhuǒgāochéngxíngfǎ]
電火高成形法
英文
spark pressure working process- 電 : Ⅰ名詞1 （有電荷存在和電荷變化的現象） electricity 2 （電報） telegram; cable Ⅱ動詞1 （觸電） give...
- 火 : fire
- 高 : Ⅰ形容詞1 （從下向上距離大; 離地面遠） tall; high 2 （在一般標準或平均程度之上; 等級在上的） above...
- 成 : Ⅰ動詞1 （完成; 成功） accomplish; succeed 2 （成為; 變為） become; turn into 3 （成全） help comp...
- 法 : Ⅰ名詞1 （由國家制定或認可的行為規則的總稱） law 2 （方法; 方式） way; method; mode; means 3 （標...
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The relationship between sputtering conditions and the depositional speed shows : with working pressure 1. 2 pa, sputtering power 180w, the depositional speed of tio2 thin film is 40nm / h, and increases with the increasing of sputtering power. it can be also founded that the depositional speed is nearly proportional to the working pressure : within the range of 0. 3pa to 1. 6pa, the depositional speed increases linearly with the increase of ar pressure. with the enhancement of the substrate ' s temperature of sputtering or annealing, the resulted thin films show a tendency of decreasing in thickness, and increasing in refractivity
本實驗是採用磁控濺射方法，在不同的溫度下制備了tio _ 2薄膜，並對薄膜進行了不同溫度和時間的退火處理，通過原子力顯微鏡（ afm ） 、 x射線衍射（ xrd ） 、掃描電鏡（ sem ）等檢測手段對薄膜的表面形貌和組成結構進行了分析，結果如下： （ 1 ）濺射工藝條件與薄膜沉積速度的關系表明：採用1 . 2pa工作氣壓， 180w的射頻功率tio _ 2薄膜的沉積速率為40nm h ，並隨射頻功率的增加而提高，呈近似的線性關系，在0 . 3pa 1 . 6pa氣壓范圍中，氬氣壓強升高沉積速率迅速增加，濺射溫度提高和退火處理能使薄膜的厚度減小和折射率提高。
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