etching end point detection 中文意思是什麼

etching end point detection 解釋
蝕刻終點檢測
  • etching : n. 1. 蝕刻法；蝕刻（銅）版畫；蝕鏤術。2. 蝕刻畫，蝕刻版，蝕刻版印刷品。
  • end : n 1 端，尖，末端，終點。2 邊緣；極點，極限。3 結局，結果。4 目的。5 最後，死。6 【紡織；印染】經...
  • point : n 1 尖頭，尖端；尖頭器具；〈美國〉筆尖；接種針，雕刻針，編織針；小岬，小地角；【拳擊】下巴。2 【...
  • detection : n. 1. 探知；發現，發覺；敗露。2. 【化學】檢定，檢查；【電訊】檢波。
  1. Lin h, li l and zeng l., " in - situ end - point detection during ion - beam etching of multilayer dielectric gratings ", chin. opt. lett., 3 ( 2 ), 63 ( 2005 )

    林華， "介質膜光柵:光刻膠掩模占寬比和離子束刻蝕槽深的監控" ，博士論文，導師:李立峰（ 2006 ）
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