helicon wave 中文意思是什麼

helicon wave 解釋
螺旋波
  • helicon : n. 1. 【希臘神話】（文藝九女神 Muses 住的）赫利孔山。2. 詩思的靈感源泉。3. 〈h-〉黑里康大號〈一種套在肩上吹的低音大號〉。
  • wave : n 〈美海軍〉女志願軍人〈見 WAVES 條〉。n 1 波浪；碎浪； 〈the wave（s）〉 〈詩〉海。2 波動；波狀...
  1. Hydrogenated amorphous silicon nitride ( a - sinx : h ) films have been deposited by helicon wave plasma enhanced chemical vapor deposition ( hwp - cvd ), the effect of sih4 / n2 rate on the properties of the samples is systematically studied, and the critical experiment condition is obtained under which a - sinx : h films with different compositions are deposited

    本工作採用螺旋波等離子體化學氣相沉積（ hwp - cvd ）方法制備了氫化非晶氮化硅（ a - sin _ x ： h ）薄膜，系統地研究了不同反應氣體配比對薄膜特性的影響，得到了沉積不同組分a - sin _ x ： h的典型實驗條件。
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