wafer process chamber 中文意思是什麼

• wafer : n 1 薄脆餅；薄餅一樣的東西；【物、無】圓片；薄片；晶片；【醫學】糯米紙〈包藥用的干糊片〉。2 （封...
• process : n 1 進行，經過；過程，歷程；作用。 2 處置，方法，步驟；加工處理，工藝程序，工序；製作法。3 【攝影...
• chamber : n 1 〈古、詩〉室，房間；寢室，臥室；〈pl 〉套房；〈pl 〉律師[法官]辦公室。2 會議室，會場；議會，...

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