接觸光刻機 的英文怎麼說
中文拼音 [jiēchùguāngkèjī]
接觸光刻機
英文
contact aligner- 接 : Ⅰ動詞1 （靠近;接觸） come into contact with; come close to 2 （連接; 使連接） connect; join; put ...
- 觸 : Ⅰ動詞1 （接觸） touch; contact 2 （碰; 撞） strike; hit 3 （觸動） touch 4 （感動） move sb ; sti...
- 光 : Ⅰ名詞1 （照耀在物體上、使人能看見物體的一種物質） light; ray 2 （景物） scenery 3 （光彩; 榮譽） ...
- 機 : machineengine
- 接觸 : 1. （交往） come into contact with; get in touch with 2. （沖突） engage 3. （挨上; 碰著） contact; touch
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Referencing the existing laser lithography tools and according the structure principle of maglev - bearing and maglev - vehicle, two structure patterns of precision stage based on maglev technology and driven non - contactly by linear motor are designed and researched. the two maglev precision stages will be of freedom information property and adapt to develop and manufacture laser lithography tools by ourselves
在參考國內外光刻機現有定位平臺結構形式的基礎上，根據磁懸浮軸承和列車的結構原理，以磁懸浮技術為基礎、以直線電機無接觸驅動為動力，研究並設計了具有自主知識產權的兩種結構模式磁懸浮精密定位平臺，以適應我國自主研製開發新一代光刻機的需要。
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