氣干板材 的英文怎麼說
中文拼音 [qìgānbǎncái]
氣干板材
英文
air-dried lumber- 氣 : Ⅰ名詞1 （氣體） gas 2 （空氣） air 3 （氣息） breath 4 （自然界冷熱陰晴等現象） weather 5 （氣味...
- 干 : 干Ⅰ名詞1 （事物的主體或 重要部分） trunk; main part 2 （幹部的簡稱） short for cadre Ⅱ動詞1 （做...
- 板 : Ⅰ名詞1 （片狀硬物體） board; plank; plate 2 （專指店鋪的門板） shutter 3 [音樂] （打拍子的樂器） ...
- 材 : 名詞1 （木料） timber 2 （泛指可以直接製成成品的東西; 材料） material 3 （供寫作或參考的資料） ma...
- 板材 : panel; slab; [林學] board; plates; sheet material; steel sheet
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This thesis work has researched the fabrication technics of photonic crystal defect waveguide with air - bridge structure and collecting waveguide ; suggested using uv - lithography and wet etching to fabricate traditional waveguide, after that, using eb - lithography and dry etching to fabricate photonic crystal holes, so can reduce the fabrication cost by a big range ; designed the moulding board, which can fabricate the air - bridge structure and is convenient for recognizing position in eb - lithography ; the structure consisted of traditional waveguides and etching grooves are fabricated on soi successfully, then an successful eb - lithography is realized on the structure, the defect waveguide collected with the traditional waveguide quite well ; used the etching grooves to do the sacrificial layer etching experiment, which grounded etching sacrificial layer by photonic crystal holes in next step
提出採用紫外光刻工藝製作傳統波導結構之後，通過電子束曝光和干法刻蝕製作光子晶體小孔的工藝方案，大幅度減低了製作成本；設計出可形成空氣橋結構、並且適用於電子束曝光位置識別的光刻模板，在soi材料上成功製作出帶有空氣橋刻蝕預留槽以及接續光波導的結構，在該結構上成功實現了光子晶體帶隙波導的電子束曝光，帶隙波導與接續光波導位置接續良好；最後利用預留槽進行了刻蝕犧牲層的實驗，為下一步利用光子晶體小孔刻蝕犧牲層形成空氣橋結構打下了基礎。
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