氣體摻雜技術 的英文怎麼說

中文拼音 [qìtǐchānzájìshù]
氣體摻雜技術 英文
gas doping technique
  • 氣 : Ⅰ名詞1 （氣體） gas 2 （空氣） air 3 （氣息） breath 4 （自然界冷熱陰晴等現象） weather 5 （氣味...
  • 體 : 體構詞成分。
  • 摻 : 摻動詞[書面語] （持; 握） hold
  • 雜 : Ⅰ形容詞（多種多樣的; 混雜的） miscellaneous; varied; sundry; mixed Ⅱ動詞（混合在一起; 攙雜） mix; blend; mingle
  • 技 : 名詞（技能; 本領） skill; ability; trick; technique
  • 術 : 術名詞1. （技藝; 技術; 學術） art; skill; technique 2. （方法; 策略） method; tactics 3. （姓氏） a surname
  • 氣體 : gas; gaseous fluid
  • 摻雜 : 1. mix; mingle2. doping; inclusion; addition; adulteration
  1. In order to otain high quality zno thin films, we, for the first time, employ the plasma enhanced chemical vapor deposition ( pecvd ) to prepare high quality zno thin film at low temperature using a zinc organic source ( zn ( c2h5 ) 2 ) and carbon dioxide ( co2 ) gas mixtures. the effects of the growing condiction and the native oxide layer of si substrate on the quality of zno thin films was studied in detail. to prepare p - zno and overcome the dufficulty of reverse due to the interaction between the n atomic, we obtain high qulaity p - zno by a easy way of thermal zn3n2

    為了在低溫下制備高質量的氧化鋅薄膜，我們採用金屬有機源和二氧化碳氣源，首次利用等離子體增強化學氣相沉積的技術在低溫下制備了高質量的氧化鋅薄膜，系統地研究了生長條件以及襯底表面氧化層對薄膜質量的影響，確定了生長高質量氧化鋅薄膜的優化條件；為獲得p - zno材料，克服在zno中摻n雜質間相互作用影響摻雜效率不易獲得p - zno的困難，我們通過熱氧化zn3n2的方法制備了p - zno ，獲得了一系列研究結果： 1 、詳細研究了氣體流速比，襯底溫度和射頻功率實驗參數對氧化鋅薄膜特性的影響。
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