熱陰極離子源 的英文怎麼說
中文拼音 [rèyīnjílíziyuán]
熱陰極離子源
英文
hot-cathode ion source- 陰 : Ⅰ名詞1 （中國古代哲學認為宇宙中通貫物質和人事的兩大對立面之一） （in chinese philosophy medicine ...
- 極 : i 名詞1 （頂點; 盡頭） the utmost point; extreme 2 （地球的南北兩端; 磁體的兩端; 電源或電器上電流...
- 離 : Ⅰ動詞1 （離開） leave; part from; be away from; separate 2 （背離） go against 3 （缺少） dispens...
- 子 : 子Ⅰ名詞1 （兒子） son 2 （人的通稱） person 3 （古代特指有學問的男人） ancient title of respect f...
- 源 : 名詞1. （水流起頭的地方） source （of a river）; fountainhead 2. （來源） source; cause 3. （姓氏） a surname
- 離子 : [物理學] ion
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In this paper ， first, the author drew some important conclusions by analyzing several technical factors and experimental conditions which would have great influence on the quality of diamond thin films during mpcvd process ， including gas proportion ， the power of microwave ， the plasma ' s location, the nucleation technique, etc. finally ， the author has successfully deposited nanocrystalline diamond thin films with 300nm crystal particles on the slick surface of silicon by using ch4 / h2 gases in the mpcvd system ， and the nanocrystalline diamond thin films was proved to have good field emission performance. all these researches will make the foundation for the field emission cathode of diamond films
本論文中，作者分析了mpcvd方法中氣源成分比、微波功率、等離子體球的位置、成核技術等各種工藝條件對金剛石薄膜質量的影響，並總結得到了一些有意義的結論；同時，在自行研製的mpcvd沉積系統上，於4 - 7kpa 、 1000左右的熱力學條件下，採用ch4 / h2氣源氣氛在光滑的硅襯底上制備出了晶粒尺寸在300納米以下的納米晶金剛石薄膜，測試得到了較好的薄膜場致電子發射性能，為金剛石薄膜場致發射冷陰極的研究工作打下了實驗基礎。
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