瞬變比較鏡 的英文怎麼說
中文拼音 [shùnbiànbǐjiàojìng]
瞬變比較鏡
英文
blink comparator- 瞬 : Ⅰ名詞（眼珠一動; 一眨眼） wink; twinkling Ⅱ動詞（眨眼） wink
- 比 : Ⅰ動詞1 （比較; 較量高下、 長短、距離、好壞等） compare; compete; contrast; match; emulate 2 （比...
- 較 : Ⅰ動詞1 （比較） compare 2 [書面語] （計較） dispute Ⅱ副詞（比較） comparatively; relatively; fair...
- 鏡 : Ⅰ名詞1 （鏡子） looking glass; mirror 2 （幫助視力或做光學實驗的器具） lens; glass 3 （姓氏） a s...
- 比較 : 1 （對比） compare; compare with; contrast; parallel （with）; comparison; by comparison; in comp...
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In fundamental theory, adaptive optics, electrostatic actuation, flexure beam theory and squeeze film damping are researched ; in fabrication, bulk micro fabrication process and surface micro fabrication process are researched and compared, then the structure parameters and layout of a 8 x 8 micromirror array are designed using summit foundry ; in analysis, analytical and numerical method are used to perform static analysis, modal analysis, transient analysis, frequency analysis and to characterize the farfield performance of this 8x8 micromirror array. finally, in order to realize large scale micromirror array with lower snap down voltage, advices are given for further research
在基本理論方面，通過對自適應光學，靜電力驅動，彈性梁理論和擠壓薄膜阻尼的研究，確定了微變形鏡的配置方案；在加工方面對體加工工藝， mumps工藝和summit工藝進行了研究與比較，並選用殘余應力小，表面質量好的summit工藝對8 8的微變形鏡陣列原型進行了結構設計與版圖設計；在分析方面主要對微變形鏡單元的靜態特性，模態特性，瞬態響應，頻率響應和8 8規模的微變形鏡陣列的遠場光學模型進行了研究，確定了微變形鏡的性能參數。
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