硅質微晶球體 的英文怎麼說
中文拼音 [guīzhíwéijīngqiútǐ]
硅質微晶球體
英文
lepisphere- 硅 : 名詞[化學] silicon （14號元素符號 si）
- 質 : Ⅰ名詞1 （性質; 本質） nature; character; essence 2 （質量） quality 3 （物質） matter; substance;...
- 晶 : Ⅰ形容詞（光亮） brilliant; glittering Ⅱ名詞1. （水晶） quartz; （rock） crystal 2. （晶體） any crystalline substance
- 球 : 名詞1 （以半圓的直徑為軸 使半圓旋轉一周而成的立體; 由中心到表面各點距離都相等的立體） sphere; glo...
- 體 : 體構詞成分。
- 球體 : spherome; sphere; orb; spheroid; spherite
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In this paper ， first, the author drew some important conclusions by analyzing several technical factors and experimental conditions which would have great influence on the quality of diamond thin films during mpcvd process ， including gas proportion ， the power of microwave ， the plasma ' s location, the nucleation technique, etc. finally ， the author has successfully deposited nanocrystalline diamond thin films with 300nm crystal particles on the slick surface of silicon by using ch4 / h2 gases in the mpcvd system ， and the nanocrystalline diamond thin films was proved to have good field emission performance. all these researches will make the foundation for the field emission cathode of diamond films
本論文中，作者分析了mpcvd方法中氣源成分比、微波功率、等離子體球的位置、成核技術等各種工藝條件對金剛石薄膜質量的影響，並總結得到了一些有意義的結論；同時，在自行研製的mpcvd沉積系統上，於4 - 7kpa 、 1000左右的熱力學條件下，採用ch4 / h2氣源氣氛在光滑的硅襯底上制備出了晶粒尺寸在300納米以下的納米晶金剛石薄膜，測試得到了較好的薄膜場致電子發射性能，為金剛石薄膜場致發射冷陰極的研究工作打下了實驗基礎。
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