金屬光掩模 的英文怎麼說
中文拼音 [jīnzhǔguāngyǎnmó]
金屬光掩模
英文
metal photomask- 金 : Ⅰ名詞1 （金屬） metals 2 （錢） money 3 （古時金屬制的打擊樂器） ancient metal percussion instrum...
- 屬 : 屬名詞1 （類別） category 2 [生物學] （生物分類系統上所用的等級之一） genus 3 （家屬; 親屬） fami...
- 光 : Ⅰ名詞1 （照耀在物體上、使人能看見物體的一種物質） light; ray 2 （景物） scenery 3 （光彩; 榮譽） ...
- 掩 : 動詞1 （遮蓋; 掩蔽） cover; hide 2 （關; 合） shut; close 3 [方言] （被卡住） get squeezed [pinch...
- 模 : 模名詞1. （模子） mould; pattern; matrix 2. （姓氏） a surname
- 金屬 : metal
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The processes include the deposition of the waveguide film, the design and fabrication of the mask pattern, the lithography, the metal coating with a magnetic sputtering, the lift - off process for the metal mask, the dry deep etching by icp, the slicing of the wafer, the polishing of the cutting edge, the fiber - to - waveguide alignment and at last, the performance testing. some edg chip samples are fabricated
對設計好的集成波導器件，本論文設計並試驗了器件的製作的全部工藝，包括波導薄膜的沉積，掩模的設計製作，光刻，濺射金屬薄膜，剝離法製作金屬掩模，干法深刻蝕，矽片切割，端面磨拋，波導對準和性能測試。
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