dopant activation 中文意思是什麼
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Wang yongqian, liao xianbo, ma zhixun, et al. solid - phase crystallization and dopant activation of amorphous silicon films by pulsed rapid thermal annealing [ j ]. applied surface science, 1998 135 : 205
薛清，郁偉中，黃遠明.利用快速退火法從非晶硅薄膜中生長納米硅晶粒[ j ] .物理實驗， 200222 （ 8 ） : 17
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