ion implantation doping 中文意思是什麼
ion implantation doping
解釋
離子注入摻雜- ion : n. 【物理學】離子。 positive [negative] ion正[負]離子。
- implantation : n. 1. 種植。2. 插入；灌輸，鼓吹。3. 【醫學】皮下注射。
- doping : 半導體中的攙雜質
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In this paper, we used different doping means to prepare the mn - doped gaas material. firstly, we incorporated mn of different dose into gaas by ion implantation, including the couple - ion implantation with mn + and c, then performed rapid thermal annealing in different temperature. furthermore, we incorporated mn into gaas using different mn sources ( pure mn and mnas ) by diffusion
本論文利用不同摻雜方法進行了摻mngaas這種dms材料樣品的制備，首先利用離子注入法對砷化鎵（ gaas ）材料進行不同劑量的錳（ mn ~ + ）離子注入，其中包括加碳（ c ）的雙離子注入，然後在不同溫度下進行快速退火處理；此外還利用擴散法對gaas晶片進行不同mn擴散源（純mn 、及mnas ）的摻雜。
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