latitude of exposure 中文意思是什麼
latitude of exposure
解釋
曝光寬容度-
The impact of the effective resist diffusion length to the exposure latitude and mef ( mask error factor ) for the 0. 13 m photolithography and beyond is presented
展示了在0 . 13 m及以下工藝中等效擴散對能量裕度和掩模版誤差因子的影響的研究結果。
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