nanoimprint lithography 中文意思是什麼
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W. b. young, “ analysis of the nanoimprint lithography with a viscous model ”, microelectronic engineering, vol. 77, pp. 405 - 411 ( 2005 )
鐘明宏， 「準分子雷射作用下矽基板之熔融現象之理論與實驗探討」 ，國立成功大學機械工程學系，碩士論文， （ 2006 ） 。
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