slope etching 中文意思是什麼
slope etching
解釋
斜度刻蝕-
Influence of ion - beam etching incidence angle on slope of pattern sidewall
光線斜入射對光柵常數測量的影響 -
Generally, the etching rate for different local surface is dependent of the local slope of the surface. in this paper, we call this < wp = 6 > phenomena quasi - direction effect. to reduce the difficulty, we use a mathematical model for the surface shape analysis in this paper
為了減小分析的難度,本論文採用了一個有效的數學模型,分析了在刻蝕工藝中基底自身面形輪廓的曲線形狀對基底局部區域的刻蝕速率產生的影響,我們稱這種影響為準單向刻蝕效應,並通過對數學模型的理論分析和計算機模擬得出受此影響而產生的面形形狀,並將結果與實驗進行對比。
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