掩模復制 的英文怎麼說
中文拼音 [yǎnmófùzhì]
掩模復制
英文
mask copy- 掩 : 動詞1 （遮蓋; 掩蔽） cover; hide 2 （關; 合） shut; close 3 [方言] （被卡住） get squeezed [pinch...
- 模 : 模名詞1. （模子） mould; pattern; matrix 2. （姓氏） a surname
- 復 : Ⅰ形容詞1 （重復） repeated; double; duplicate 2 （繁復） complex; compound Ⅱ動詞1 （轉過去或轉過...
- 制 : Ⅰ動詞1 （製造） make; manufacture 2 （擬訂; 規定） draw up; establish 3 （用強力約束; 限定; 管束...
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Using computer - aided alignment method, the schwarzschild optics was assembled with wave - front error of 18nm in rms value which is a good match to the simulation wave - front error by introducing figure errors of primary and secondary mirrors using zemax optical software. positive resist of zep520 ( nippon zeon co. ltd ) was employed in exposure experiments
在集成后的euvl原理裝置上，採用zep520 （ nipponzeonco . ltd ）正性抗蝕劑及掩模調焦方案，初步進行了透射掩模的曝光復制實驗，國內首次獲得了0 . 75 m線寬的euvl復制圖形，完成了euvl的原理性貫通。
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