dry plasma etching 中文意思是什麼

dry plasma etching 解釋
等離子干法刻蝕
  • dry : adj 1 乾的，乾燥的；無水分的，干透了的。2 （井、河等）乾涸的，枯竭的；（氣候）乾旱的；無奶的；無...
  • plasma : n. 1. 【生理】血漿；淋巴液。2. 【生物學】原生質。3. （做藥膏用的）膏漿。4. 【礦物】半透明的綠玉髓。5. 【物理學】等離子（體）；等離子區。
  • etching : n. 1. 蝕刻法；蝕刻（銅）版畫；蝕鏤術。2. 蝕刻畫，蝕刻版，蝕刻版印刷品。
  1. To approach as a resist in dry etching processing, etching properties of the films in oxygen plasma have been investigated

    為了探索該種薄膜在干刻蝕工藝過程中用作掩膜的可能性，還研究了它在氧離子體中的刻蝕性能。
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