exb magnetron sputtering system 中文意思是什麼
exb magnetron sputtering system
解釋
直交電磁場型濺鍍系統- exb : 正交電場磁場
- magnetron : n. 【無線電】磁控（電子）管。 rising-sun magnetron旭日型磁控管。
- sputtering : 飛濺
- system : n 1 體系，系統；分類法；組織；設備，裝置。2 方式；方法；作業方法。3 制度；主義。4 次序，規律。5 ...
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