plasma-enhanced cvd 中文意思是什麼

plasma-enhanced cvd 解釋
等離子體增強化學氣相淀積
  • plasma : n. 1. 【生理】血漿；淋巴液。2. 【生物學】原生質。3. （做藥膏用的）膏漿。4. 【礦物】半透明的綠玉髓。5. 【物理學】等離子（體）；等離子區。
  • enhanced : 提高了的
  1. Hydrogenated amorphous silicon nitride ( a - sinx : h ) films have been deposited by helicon wave plasma enhanced chemical vapor deposition ( hwp - cvd ), the effect of sih4 / n2 rate on the properties of the samples is systematically studied, and the critical experiment condition is obtained under which a - sinx : h films with different compositions are deposited

    本工作採用螺旋波等離子體化學氣相沉積（ hwp - cvd ）方法制備了氫化非晶氮化硅（ a - sin _ x ： h ）薄膜，系統地研究了不同反應氣體配比對薄膜特性的影響，得到了沉積不同組分a - sin _ x ： h的典型實驗條件。
  2. Rf plasma enhanced cvd system

    高頻等離子體增強
  3. Inductive coupled plasma enhanced cvd system

    電感性耦合等離子體增強型
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