掩模對準器 的英文怎麼說
中文拼音 [yǎnmóduìzhǔnqì]
掩模對準器
英文
mask aligner- 掩 : 動詞1 （遮蓋; 掩蔽） cover; hide 2 （關; 合） shut; close 3 [方言] （被卡住） get squeezed [pinch...
- 模 : 模名詞1. （模子） mould; pattern; matrix 2. （姓氏） a surname
- 對 : Ⅰ動詞1 （回答） answer; reply 2 （對待; 對付） treat; cope with; counter 3 （朝; 向; 面對） be tr...
- 準 : Ⅰ名詞1 （標準） standard; guideline; criterion; norm 2 （目標） aim; target Ⅱ動詞1 （依據; 依照）...
- 器 : 名詞1. （器具） implement; utensil; ware 2. （器官） organ 3. （度量; 才能） capacity; talent 4. （姓氏） a surname
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The processes include the deposition of the waveguide film, the design and fabrication of the mask pattern, the lithography, the metal coating with a magnetic sputtering, the lift - off process for the metal mask, the dry deep etching by icp, the slicing of the wafer, the polishing of the cutting edge, the fiber - to - waveguide alignment and at last, the performance testing. some edg chip samples are fabricated
對設計好的集成波導器件，本論文設計並試驗了器件的製作的全部工藝，包括波導薄膜的沉積，掩模的設計製作，光刻，濺射金屬薄膜，剝離法製作金屬掩模，干法深刻蝕，矽片切割，端面磨拋，波導對準和性能測試。
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