濺射清洗 的英文怎麼說
中文拼音 [jiànshèqīngxǐ]
濺射清洗
英文
sputter cleaning- 濺 : 動詞（液體受沖擊向四外射出） splash; spatter
- 射 : Ⅰ動詞1 （用推力或彈力送出） shoot; fire 2 （液體受到壓力迅速擠出） discharge in a jet 3 （放出） ...
- 清 : Ⅰ形容詞1 （純凈） unmixed; clear 2 （寂靜） quiet 3 （清楚） distinct; clarified 4 （一點不留） w...
- 洗 : 洗動詞1 （用水等去掉物體上的臟東西） wash; bathe 2 [宗教] （洗禮） baptize 3 （洗雪） redress; ri...
- 清洗 : 1. （洗干凈） wash; clean; rinse 2. （清除） purge; comb out; eliminate
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Compared to other commonly referenced high - k materials, hfo2 is known for its stability on silicon and process compatibility. the fabrication and electrical properties of hfo2 and hfoxny gate are carefully studied. with the study on hfo2. we can receive a few significative conclusion : 1
結果表明，與傳統的hf清洗的si表面相比， nh _ 4f清洗的si表面與hfo _ 2具有更好的熱力學穩定性，因而可獲得更低的eot和柵泄漏電流密度； 3 ）研究了濺射氣氛和退火工藝對hfo _ 2柵介質薄膜性質的影響。
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