electron temperature probe 中文意思是什麼
electron temperature probe
解釋
電子式溫度傳感器- electron : n. 【物理學】電子。 the electron beam 電子束。 the electron theory 電子（學）說。
- temperature : n. 1. 溫度，氣溫。2. 體溫。3. 〈口語〉發燒，高燒。
- probe : n 1 【醫學】探針；探示器；取樣器；【物理學】試探電極。2 【醫學】（對傷處等的）針探，探查；刺探；...
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This paper studies the application of inductively coupled plasma ( icp ) technology to the etching compound semiconductor insb - in film. by means of single probe and double probe, the ion density and electron temperature of chamber ( 30mm and 50mm in height respectively ) under varied process condition were diagnosed. the spatial distribution of the axial position of the two parameters and the varied curve that the two parameters varies with the power and air pressure are obtained
利用單探針和雙探針診斷30mm高反應室和50mm高反應室在各種工藝條件下的離子密度和電子溫度，得到這兩個參數在反應室軸向位置的空間分佈、隨功率和氣壓的變化曲線、頂蓋接地和反應室體積對它們的影響，結果表明離子密度為10 ~ 8 10 ~ （ 10 ） cm ~ （ - 3 ） ，電子溫度在4 10ev之間；當頂蓋接地時，該處的等離子體密度明顯大於不接地；在同樣條件下， 50mm高反應室內的離子密度明顯大於30mm高反應室。
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