ion etching chamber 中文意思是什麼

ion etching chamber 解釋
離子蝕刻室
  • ion : n. 【物理學】離子。 positive [negative] ion正[負]離子。
  • etching : n. 1. 蝕刻法；蝕刻（銅）版畫；蝕鏤術。2. 蝕刻畫，蝕刻版，蝕刻版印刷品。
  • chamber : n 1 〈古、詩〉室，房間；寢室，臥室；〈pl 〉套房；〈pl 〉律師[法官]辦公室。2 會議室，會場；議會，...
  1. This paper studies the application of inductively coupled plasma ( icp ) technology to the etching compound semiconductor insb - in film. by means of single probe and double probe, the ion density and electron temperature of chamber ( 30mm and 50mm in height respectively ) under varied process condition were diagnosed. the spatial distribution of the axial position of the two parameters and the varied curve that the two parameters varies with the power and air pressure are obtained

    利用單探針和雙探針診斷30mm高反應室和50mm高反應室在各種工藝條件下的離子密度和電子溫度，得到這兩個參數在反應室軸向位置的空間分佈、隨功率和氣壓的變化曲線、頂蓋接地和反應室體積對它們的影響，結果表明離子密度為10 ~ 8 10 ~ （ 10 ） cm ~ （ - 3 ） ，電子溫度在4 10ev之間；當頂蓋接地時，該處的等離子體密度明顯大於不接地；在同樣條件下， 50mm高反應室內的離子密度明顯大於30mm高反應室。
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