x-ray lithography 中文意思是什麼
x-ray lithography
解釋
x射線刻蝕法- x : X2＝ （羅馬數字）10 XX ＝ 20 IX ＝ 9 XV ＝ 15 XL ＝ 40 LX ＝ 60 XC ＝ 90 DXL ＝ 540 MX ＝ 1010 ＝...
- ray : n 雷〈姓氏，男子名， Raymond 的昵稱〉。n 1 光線，射線，熱線；〈詩〉光輝，閃爍，曙光，一線光明。2 ...
- lithography : n. 石印〈平版印刷〉術；平版印刷品。
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Mems technology is a hot topic of science and industry in the 21st century, and micro - fabrication technologies are the key to the mems development. in the mems field, microstructure with high height and high aspect ratio is often used. liga ( x - ray lithography 、 electroforming 、 micro - replication ) technology are the very way to fabricate this microstructures
在mems領域中，常需要用到具有一定厚度和深寬比的微結構， liga （ x射線深層光刻、電鑄成型和微復制）技術是製作這種微結構的重要手段，因此成為mems微細加工中十分重要的技術。
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